多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法

标准简介

地方标准《多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。

主要起草单位昆明冶研新材料股份有限公司。

主要起草人赵建为 、张云晖 、钱津旺 、金波 、亢若谷 、马启坤 、于晓艳 、左世芳 、陶明 、杨红燕 。

标准基本信息

标准号

DB53/T 500-2013

发布日期

2013-08-01

实施日期

2013-10-01

中国标准分类号

G 10

国际标准分类号

71.040.40

归口单位

云南省质量技术监督局

主管部门

云南省质量技术监督局

行业分类

制造业

备案信息

备案号：38311-2013。

备案公告： 2013年第9号 。

适用范围

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。

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