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标准简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。
主要起草人张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 42158-2023
- 发布日期
- 2023-03-17
- 实施日期
- 2023-07-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L59
- 国际标准分类号
- 31.080.99
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
采标情况
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-26:2016。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法。
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