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标准简介

国家标准计划《纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心。

主要起草人刘俭 、施玉书 、刘辰光 、张树 、胡旭 、张云龙 、李冬梅 、冯慧 。

标准基本信息

计划号
20212948-T-491
制修订
制定
项目周期
30个月
下达日期
2021-08-24
标准类别
方法
中国标准分类号
N51
国际标准分类号
17.040.30
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位
全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门
中国科学院

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