



标准简介
国家标准计划《纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。拟实施日期:发布后6个月正式实施。
主要起草单位哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心。
主要起草人刘俭 、施玉书 、刘辰光 、张树 、胡旭 、张云龙 、李冬梅 、冯慧 。
标准基本信息
- 计划号
- 20212948-T-491
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 30个月
- 下达日期
- 2021-08-24
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- N51
- 国际标准分类号
- 17.040.30
- 归口单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
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