电子特气氨20192162-T-469-中析研究所检测

(CMA)

(CNAS)

(ISO)

(高新技术企业)

标准简介

国家标准计划《电子特气氨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、浙江建业化工股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、惠州市华达通气体制造股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙化省标准化研究院、宿州伊维特新材料有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海飞择科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

主要起草人王新喜、孙猛、孙福楠、施旖旎、赵趫、曹素英、何经余、钟九生、赵素粉、万娟秀、朱明、丁高松、许军州、冀延治、胡帅、傅铸红、陈艳珊、吴杰、王百林、刘峰、周博晓、杜鹏举、邱雅惠、陈洁、吴靓、方华、高天东、何波、杨康、黄辉、施卫丰、姜阳、李春华、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、唐霞梅、陈春玉、赵刚、周鹏云、黄进、王超。