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标准简介
国家标准《电子特气 六氟丁二烯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位浙江省化工研究院有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、昊华气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。
主要起草人史婉君 、张建君 、李翔宇 、郭君 、付梦月 、侯玲玲 、褚人财 、李霞 、谭慧 、何经余 、曹素英 、傅铸红 、陈艳珊 、马建修 、曹小林 、杨俊豪 、王新喜 、孙猛 、陈洁 、吴靓 、方华 、于庆伟 、何波 、唐中伟 、黄辉 、宫兵 、王大为 、易达文 、李阳 、梁永强 、梁成科 、高静 、吴克安 、白占旗 、鬲春利 、谭依玲 、徐龙 、曹元洪 、周鹏云 、陈凯 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 40417-2021
- 发布日期
- 2021-08-20
- 实施日期
- 2022-03-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
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