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标准简介
国家标准计划《半导体器件 机械和气候试验方法 第7部分：内部水汽测量和其他残余气体分析》由TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。拟实施日期：发布后3个月正式实施。
主要起草单位中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第二十四研究所、达仁智能科技（佛山）有限公司、深圳市轴心自控技术有限公司、广东阿达智能装备有限公司。
主要起草人黄东巍 、杨迪 、李锟 、罗俊 、谭骁洪 、颜天宝 、王本正 、贺云波 。
标准基本信息
- 计划号
- 20193135-T-339
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2019-10-24
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- L40
- 国际标准分类号
- 31.080.01
- 归口单位
- 全国半导体器件标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体器件标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
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