硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

发布时间:2025-01-20 11:27:10 阅读量: 来源:中析研究所

标准简介

国家标准《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研半导体材料有限公司、广州市昆德科技有限公司、青海芯测科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司、乐山市产品质量监督检验所、中国计量科学研究院、亚洲硅业(青海)股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、开化县检验检测研究院、南京国盛电子有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、义乌力迈新材料有限公司。

主要起草人刘立娜 、刘兆枫 、何烜坤 、刘刚 、杨素心 、孙燕 、高英 、王昕 、梁洪 、潘金平 、楼春兰 、宗冰 、李慎重 、潘文宾 、蔡丽艳 、王志强 、皮坤林 。

标准基本信息

标准号
GB/T 1551-2021
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
全部代替标准
GB/T 1551-2009
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

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检测标准 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

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