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标准简介

国家标准《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、无锡华瑛微电子技术有限公司、龙腾半导体有限公司、厦门科鑫电子有限公司。

主要起草人骆红 、潘文宾 、赵而敬 、孙燕 、张海英 、徐新华 、温子瑛 、胡金枝 、李素青 、马林宝 、李俊需 。

标准基本信息

标准号
GB/T 39145-2020
发布日期
2020-10-11
实施日期
2021-09-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

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