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标准简介
行业标准《用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等。
主要起草人刘兵 、钱森林 、王洪华等 。
标准基本信息
- 标准号
- SJ/T 11554-2015
- 发布日期
- 2015-10-10
- 实施日期
- 2016-04-01
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31.030
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
备案信息
备案号：52022-2015。
备案公告： 2015年第12号 。
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