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标准简介
行业标准《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所。
主要起草人陈奕睿 、屈海云等 。
标准基本信息
- 标准号
- JC/T 2133-2012
- 发布日期
- 2012-12-28
- 实施日期
- 2013-06-01
- 中国标准分类号
- G14
- 归口单位
- 全国工业陶瓷标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
备案信息
备案号：38976-2013。
备案公告： 2013年第2号 。
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