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标准简介
行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。
主要起草人贺立波 、徐春旭 、汪明波等 。
标准基本信息
- 标准号
- SJ/T 11576-2016
- 发布日期
- 2016-01-15
- 实施日期
- 2016-06-01
- 中国标准分类号
- L95
- 国际标准分类号
- 31.550
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
备案信息
备案号：54855-2016。
备案公告： 2016年第7号 。
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