蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
发布时间：2025-02-05 23:09:38
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位天通控股股份有限公司。
主要起草人康森 、宋岩岩 、邵峰 、沈瞿欢 、於震杰 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 34504-2017
- 发布日期
- 2017-10-14
- 实施日期
- 2018-05-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
