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标准简介

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。

主要起草人李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。

标准基本信息

标准号
GB/T 31470-2015
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
标准类别
方法
中国标准分类号
N26
国际标准分类号
17.220.20
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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