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标准简介
国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
主要起草人李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 31470-2015
- 发布日期
- 2015-05-15
- 实施日期
- 2016-01-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- N26
- 国际标准分类号
- 17.220.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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