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标准简介
国家标准《Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院半导体研究所。
主要起草人孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 30653-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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