电子工业用硅酸钾溶液

标准简介

国家标准《电子工业用硅酸钾溶液》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位电子工业部标准化研究所。

标准基本信息

标准号

GB/T 9394-1998

发布日期

1998-06-17

实施日期

1998-12-01

全部代替标准

GB 9394-1988

标准类别

产品

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

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