硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
发布时间：2025-02-01 23:00:10
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 16527-1996
- 发布日期
- 1996-09-09
- 实施日期
- 1997-05-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
采标情况
本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。
采标中文名称:。
