硬面光掩模基板
发布时间：2025-02-28 23:28:55
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 15871-1995
- 发布日期
- 1995-12-22
- 实施日期
- 1996-08-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.030
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
采标情况
本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。
采标中文名称:。
