洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用

发布时间:2025-01-02 11:25:02 阅读量: 来源:中析研究所

标准简介

国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州安泰空气技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中国标准化协会、上海尚远建设工程有限公司、中国电子工程设计院股份有限公司、中国科学院大气物理研究所、烟台宝源净化有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、仲恺农业工程学院、科锐特(厦门)净化科技有限公司、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、惠特科学技术有限公司、朗恒科技集团有限公司、新拓洋生物工程有限公司。

主要起草人苗心向 、袁晓东 、王天羿 、孙扬 、郝胤博 、吴志坚 、惠旅锋 、陆晶 、丁禹龙 、高怡婷 、奚晓鹏 、杨云涛 、王芳 、贺乐凯 、丁力行 、高正 、魏兰 、山香菊 、张长安 、胡思伟 、黄狄文 、张建国 、李华新 、危勇华 、奚光明 。

标准基本信息

标准号
GB/T 25915.17-2024
发布日期
2024-08-23
实施日期
2025-03-01
标准类别
方法
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
执行单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-17:2021。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用。

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检测标准 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用

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