高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法
发布时间：2025-01-19 06:31:37
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准计划《高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法》由TC487（全国光电测量标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位南京理工大学、上海市计量测试技术研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司、中国科学院微电子研究所、中国计量科学研究院、中国科学院空天信息创新研究院、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司、南京智群光电技术有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20242284-T-491
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 18个月
- 下达日期
- 2024-07-25
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 17.180.99
- 归口单位
- 全国光电测量标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国光电测量标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
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