(CMA)
(CNAS)
(ISO)
(高新技术企业)
标准简介
国家标准计划《高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法》由TC487（全国光电测量标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位南京理工大学、上海市计量测试技术研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司、中国科学院微电子研究所、中国计量科学研究院、中国科学院空天信息创新研究院、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司、南京智群光电技术有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20242284-T-491
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 18个月
- 下达日期
- 2024-07-25
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 17.180.99
- 归口单位
- 全国光电测量标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国光电测量标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
相近标准
- GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
- GB/T 34900-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
- GB/T 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
- 20242385-T-491 纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量
- YB/T 6045-2022 炭素材料显微结构测定方法
- SJ/T 11759-2020 光伏电池电极栅线高宽比的测量 激光扫描共聚焦显微镜法
- GB/T 35098-2018 微束分析 透射电子显微术 植物病毒形态学的透射电子显微镜鉴定方法
- HG/T 5077-2016 光学功能薄膜 近红外光谱透过率的测量方法
- GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
- GB/T 21637-2008 冠状病毒透射电子显微镜形态学鉴定方法
我们的实力
部分实验仪器
合作客户
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
