



标准简介
国家标准计划《电子级四氯化钛》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位武汉新硅科技潜江有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20232463-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 18个月
- 下达日期
- 2023-12-28
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 31.030
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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