电子级四氯化钛

标准简介

国家标准计划《电子级四氯化钛》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位武汉新硅科技潜江有限公司。

标准基本信息

计划号

20232463-T-469

制修订

制定

项目周期

18个月

下达日期

2023-12-28

标准类别

产品

国际标准分类号

31.030

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

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