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标准简介

国家标准计划《电子级四氯化钛》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位武汉新硅科技潜江有限公司。

标准基本信息

计划号
20232463-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2023-12-28
标准类别
产品
国际标准分类号
31.030
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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