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标准简介
国家标准计划《电子级磷酸》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国电子技术标准化研究院、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20231180-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2023-12-01
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 31.030
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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