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标准简介

国家标准计划《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学技术大学、安徽大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质研究院。

标准基本信息

计划号
20231337-T-469
制修订
制定
项目周期
16个月
下达日期
2023-12-01
标准类别
方法
国际标准分类号
71.040.40
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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