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(高新技术企业)
信息概要
电子厂房洁净气体相容性检验是确保电子制造环境中使用的气体与材料、设备及工艺兼容的关键检测服务。该类检测主要用于评估气体在洁净环境中的纯度、稳定性及其对生产过程的潜在影响，避免因气体污染或化学反应导致的产品缺陷或设备故障。检测的重要性在于保障电子元器件的高质量生产，提高良品率，同时满足行业标准（如ISO 14644、SEMI F5等）和客户需求。
检测项目
气体纯度, 氧含量, 水分含量, 颗粒物浓度, 总烃含量, 金属离子浓度, 酸碱性, 腐蚀性, 可燃性, 毒性, 化学稳定性, 露点温度, 气体流速, 压力稳定性, 泄漏率, 微生物污染, 静电特性, 挥发性有机物, 氮氧化物含量, 硫化物含量
检测范围
高纯氮气, 高纯氧气, 高纯氩气, 高纯氢气, 高纯氦气, 高纯二氧化碳, 特种混合气体, 硅烷, 氨气, 氟化氢, 氯化氢, 六氟化硫, 三氟化氮, 氖气, 氪气, 氙气, 甲烷, 乙烷, 丙烷, 丁烷
检测方法
气相色谱法（GC）：用于分析气体中挥发性有机化合物和杂质成分。
质谱法（MS）：检测气体中微量金属离子和同位素比例。
红外光谱法（IR）：测定气体中水分、二氧化碳等极性分子含量。
激光粒子计数器：量化气体中颗粒物浓度及粒径分布。
电化学传感器法：实时监测氧气、有毒气体等活性成分。
露点仪法：精确测量气体中的水分露点温度。
压力衰减测试：评估气体系统的密封性和泄漏率。
离子色谱法（IC）：分析气体中阴离子和阳离子污染。
微生物培养法：检测气体中可能存在的微生物污染。
静电计测试：评估气体流动产生的静电特性。
燃烧法：测定气体可燃性及燃烧产物。
化学发光法：检测氮氧化物等特定气体成分。
紫外荧光法：用于硫化物含量的高灵敏度分析。
重量法：通过吸附剂增重测量总烃含量。
比色法：快速定性或半定量分析气体酸碱性。
检测仪器
气相色谱仪, 质谱仪, 红外光谱仪, 激光粒子计数器, 电化学传感器, 露点仪, 压力传感器, 离子色谱仪, 微生物采样器, 静电计, 燃烧分析仪, 化学发光分析仪, 紫外荧光分析仪, 电子天平, 比色计
我们的实力
部分实验仪器
合作客户
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
