薄膜测厚仪测试仪器-材料测试仪器

薄膜测厚仪

主要用途

薄膜测厚仪是用于测量薄膜厚度的仪器。广泛应用于半导体、光学器件、涂层等领域，能够精确测定薄膜的厚度。

参数指标

测量范围：1nm-100μm；分辨率：≤0.1nm；测量方式：光学干涉、椭偏、台阶仪；测量精度：±1%。

主要样品类型

适用于薄膜材料厚度测量，包括：光学薄膜、金属薄膜、氧化物薄膜、聚合物薄膜、半导体薄膜等。

主要实验项目

薄膜厚度测定、薄膜均匀性评价、多层膜结构分析等。