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标准简介
国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司。
主要起草人银波 、邱艳梅 、刘国霞 、黄彬 、李素青 、张吉武 、宋炳信 、鲁文锋 、王港 、李玫 、张正霞 、吴英良 、侯倩慧 、王晓娇 、曹家凯 、高裕昆 、崔巍 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 42276-2022
- 发布日期
- 2022-12-30
- 实施日期
- 2023-04-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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