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标准简介

行业标准《电真空器件用刚玉粉粒度分布的测定 密度天平法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位中国电子技术标准化研究院。

主要起草人张旭 、张理 、裴会川 。

标准基本信息

标准号
SJ/T 10943-2020
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
全部代替标准
SJ/T 10943-1996
中国标准分类号
L 90
国际标准分类号
31.03
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员
主管部门
工业和信息化部
行业分类

备案信息

备案号:80914-2021。

备案公告: 2021年第3号 。

适用范围

适用于电真空器件用刚玉粉粒度分布的密度测定

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