气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量

标准简介

地方标准《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量》由云南省检验检测标准化技术委员会归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。

主要起草单位昆明冶研新材料股份有限公司。

主要起草人张云晖 、金波 、亢若谷 、白荣林 、马启坤 、徐远志 、徐灵通 、赵建为 、杨红燕 、于晓艳 、左世芳 、陶明 、赵祖乔 。

标准基本信息

标准号

DB53/T 618-2014

发布日期

2014-08-28

实施日期

2014-12-01

中国标准分类号

G10

国际标准分类号

71.040.40

归口单位

云南省检验检测标准化技术委员会

主管部门

云南省质量技术监督局

行业分类

制造业

备案信息

备案号：43241-2014。

备案公告： 2014年第10号 。

适用范围

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定.

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