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标准简介
行业标准《化学气相沉积炉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等。
主要起草人戴煜 、胡祥龙 、胡高健等 。
标准基本信息
- 标准号
- YS/T 1031-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 中国标准分类号
- H91
- 国际标准分类号
- 77.180.
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
备案信息
备案号：50342-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
适用范围
本标准适用于化学气相沉积。
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