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标准简介
国家标准《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司。
主要起草人孙燕 、梁洪 、高英 、楼春兰 、张静 、王飞尧等 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 13389-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 全部代替标准
- GB/T 13389-1992
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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