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标准简介

国家标准《吸气剂分类及型号命名方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位南京工学院。

标准基本信息

标准号
GB/T 4965-1985
发布日期
1985-02-28
实施日期
1985-11-01
标准类别
基础
中国标准分类号
L35
国际标准分类号
31.020
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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