



标准简介
国家标准《吸气剂分类及型号命名方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位南京工学院。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 4965-1985
- 发布日期
- 1985-02-28
- 实施日期
- 1985-11-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L35
- 国际标准分类号
- 31.020
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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