



信息概要
等离子体参数测试是评估等离子体状态及性能的关键技术,广泛应用于半导体制造、材料科学、医疗设备及新能源等领域。第三方检测机构通过专业检测服务,确保等离子体设备或产品的稳定性、安全性及效能。检测的重要性在于优化工艺参数、保障产品质量、预防设备故障,并满足行业标准与法规要求。通过精准的测试数据,可为研发、生产及质量控制提供科学依据。
检测项目
电子密度,离子温度,电子温度,等离子体电位,等离子体鞘层厚度,放电电流,放电电压,等离子体频率,粒子能量分布,气体压强,杂质浓度,等离子体均匀性,射频功率耦合效率,中性粒子密度,电场强度分布,磁场强度,等离子体稳定性,粒子碰撞频率,电离度,辐射光谱强度
检测范围
电弧等离子体发生器,射频等离子体设备,微波等离子体装置,直流辉光放电设备,低温等离子体系统,高温等离子体反应器,磁约束等离子体装置,感应耦合等离子体源,大气压等离子体喷枪,真空等离子体处理设备,等离子体刻蚀机,等离子体沉积设备,等离子体清洗机,等离子体点火器,等离子体医疗设备,等离子体涂层系统,等离子体聚合装置,等离子体光源,等离子体废气处理设备,等离子体表面改性设备
检测方法
Langmuir探针法(通过探针电流-电压特性曲线分析电子密度和温度),光谱分析法(利用发射光谱测量等离子体成分及辐射强度),微波干涉法(通过微波相位变化计算电子密度),静电探针法(测量等离子体电位及电场分布),质谱法(分析等离子体中的离子种类及浓度),高速摄影法(捕捉等离子体动态行为及均匀性),激光诱导荧光法(检测中性粒子密度及温度分布),射频功率计(测量等离子体耦合功率效率),磁场探针法(量化磁场强度及分布),热探针法(评估等离子体热力学参数),四极杆质谱仪(实时监测气体成分变化),光学发射光谱(OES)法(分析激发态粒子特征谱线),电容耦合等离子体诊断(通过阻抗特性评估等离子体状态),粒子成像测速法(PIV)(可视化粒子运动及流速),谐振腔微扰法(测量等离子体介电常数及密度)
检测仪器
Langmuir探针系统,光谱分析仪,微波干涉仪,静电探针装置,质谱仪,高速摄像机,激光诱导荧光检测系统,射频功率计,磁场传感器,热探针测温仪,四极杆质谱仪,光学发射光谱仪,阻抗分析仪,粒子成像测速仪,谐振腔微扰装置
我们的实力
部分实验仪器




合作客户
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。