



信息概要
薄膜材料表面粗糙度(AFM)检测是通过原子力显微镜(AFM)技术对薄膜材料表面形貌进行高分辨率表征的重要方法。该检测能够精确测量表面粗糙度、形貌特征及纳米级缺陷,广泛应用于半导体、光学涂层、生物材料等领域。检测薄膜表面粗糙度对于确保产品质量、优化工艺性能以及满足行业标准具有重要意义。通过AFM检测,可以评估薄膜的均匀性、附着力和功能性,为研发和生产提供关键数据支持。
检测项目
表面粗糙度(Ra),表面粗糙度(Rq),表面粗糙度(Rz),最大峰高(Rp),最大谷深(Rv),表面斜率,表面曲率,表面波纹度,表面形貌,表面缺陷密度,表面均匀性,表面粘附力,表面硬度,表面弹性模量,表面摩擦系数,表面润湿性,表面能,表面电荷分布,表面化学成分,表面纳米结构
检测范围
半导体薄膜,光学薄膜,金属薄膜,聚合物薄膜,陶瓷薄膜,纳米薄膜,生物薄膜,涂层薄膜,复合薄膜,超薄薄膜,柔性薄膜,硬质薄膜,透明薄膜,导电薄膜,绝缘薄膜,磁性薄膜,防反射薄膜,耐磨薄膜,防腐薄膜,生物相容性薄膜
检测方法
接触式AFM:通过探针与样品表面直接接触,测量表面形貌和力学性质。
非接触式AFM:探针在样品表面附近振动,避免接触,适用于柔软或易损样品。
轻敲式AFM:探针以一定频率轻敲表面,减少对样品的损伤,适用于高分辨率成像。
相位成像AFM:通过检测探针振动相位变化,分析表面材料性质差异。
力调制AFM:测量探针与样品间的相互作用力,评估表面力学性能。
静电力显微镜(EFM):检测表面静电场分布,用于分析电荷分布。
磁力显微镜(MFM):测量表面磁性分布,适用于磁性薄膜分析。
扫描隧道显微镜(STM):通过隧道电流成像,适用于导电薄膜表面分析。
纳米压痕技术:通过压痕测量薄膜的硬度和弹性模量。
X射线光电子能谱(XPS):分析表面化学成分和元素价态。
扫描电子显微镜(SEM):高分辨率表面形貌成像,结合能谱分析成分。
透射电子显微镜(TEM):观察薄膜内部结构和纳米级缺陷。
白光干涉仪:测量表面粗糙度和波纹度。
椭偏仪:分析薄膜厚度和光学常数。
拉曼光谱:检测薄膜材料的结构和应力分布。
检测仪器
原子力显微镜(AFM),扫描隧道显微镜(STM),磁力显微镜(MFM),静电力显微镜(EFM),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM),X射线光电子能谱仪(XPS),纳米压痕仪,白光干涉仪,椭偏仪,拉曼光谱仪,红外光谱仪,紫外可见分光光度计,表面轮廓仪,接触角测量仪
我们的实力
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